在透明有源器件,传感器,透明电极和电路等方面具有广泛的潜在应用p型透明导电膜

TCO(透明导电氧化物 )薄膜研究开发的历史与现状 ,展望了产业化前景.传统的 ITO薄膜性能优异 ,是重要的平面显示器件用材料.新型 Zn O薄膜成本低廉 ,极具发展潜力 ,有望在太阳能电池领域取代 ITO(掺锡氧化铟 ).多元复合氧化物薄膜是 TCO的发展方向之一 ;柔性衬底的应用扩大了 TCO薄膜的用途 ;溶胶 -凝胶制备工艺的开发促进了大面积 TCO薄膜的实用化

透明导电氧化物薄膜(transparent conductive oxide简称TCO)主要包括In,Sb,Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料,同时,人们还开发了Zn_2SnO_4,In_4Sn_3O_(12),MgIn_2O_4,CdIn_2O_4等多元透明氧化物薄膜材料.TCO薄膜的制备方法有多种,制备薄膜的各种方法,如磁控溅射法,反应热蒸发,金属有机化学汽相沉积,原子层外延,喷射热分解,脉冲激光沉积(属于物理气相沉积),溶胶凝胶(sol-gel)等均可用于制备TCO薄膜.薄膜的性质是由制备工艺决定的

p型透明导电膜是近来发现的一种新型的材料,在透明有源器件,传感器,透明电极和电路等方面具有广泛的潜在应用.近来在这方面的研究取得了一些突出的进展.关于p型透明导电膜在材料,沉积工艺以及相关器件方面的研究进展.