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技术资料

磁控溅射高纯铝(Al)的应用及其优势

时间:2023-10-01浏览次数:981
        在各个工业领域,铝及其合金的应用已经变得越来越普遍。本文将重点讨论磁控溅射高纯铝的应用,并探讨其在PVD技术镀膜材料中及各种单靶材系统中的优势。
        1. 铝的独特性质
        - 轻金属:相较于钢等金属,铝的密度仅为2.70 g/cm3,仅为钢的三分之一左右。这使得使用铝制零件的产品显得轻盈易于识别。
        - 低密度:铝的低密度与其原子核的轻量有关,这使其相较于其他金属更为轻巧。只有反应性太高的碱金属和碱土金属(如钾、钙等)可以拥有比铝更低的密度,但这在结构材料中并不适用。
        - 密度轻的替代品:铝的低密度是其与其他金属的区别之一。这一特性使得铝在航空航天工业等应用中非常重要。
        2. 铝合金的优势
        - 强度和硬度:纯铝较为软化,且缺乏强度。因此,在大多数应用中,使用铝合金显得更为合适,因为它们具有更高的强度和硬度。铝合金的屈服强度可达200-    600MPa,远高于纯铝的7-11MPa。
        - 韧性和延展性:经过处理的铝合金具有更好的韧性和延展性,较易拉拔和挤型,这使得它们更容易进行机械加工和铸造。
        - 导电导热性:铝虽然相对于铜的导电导热性只有59%,但相较于其轻量特性,这是非常优秀的表现。此外,铝在低于1.2K的温度和磁通量大于100高斯下可以超导。
        3. 磁控溅射高纯铝的应用
        - PVD技术镀膜材料:磁控溅射是一种常见的物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术,用于在表面上形成薄膜。高纯度的铝在这种技术中被广泛应用,通过溅射源将铝原子释放到真空腔室,并在官能化学气体的作用下,形成高质量的Al膜。这些薄膜可以在电子、光学、太阳能电池等领域发挥重要作用。
        - 单靶材系统:铝是磁控溅射中最常用的靶材之一。靶材是在溅射过程中提供原子的来源。具有高纯度的铝靶材能够提供更稳定和均匀的溅射过程,从而在制备过程中确保高质量的薄膜。这种靶材在各种工业领域中都被广泛使用,如电子、航空航天、光学等。
        小结:
        铝和铝合金作为一种轻盈且功能多样的材料,在各个领域中都有着广泛的应用。磁控溅射高纯铝的应用在PVD技术镀膜材料中及各种单靶材系统中尤为显著。通过磁控溅射技术,我们可以获得高质量的铝薄膜,从而在电子、光学等领域发挥重要作用。为了确保溅射过程的稳定和薄膜质量的优异,高纯度的铝靶材在制备过程中起着关键作用。因此,磁控溅射高纯铝的应用将在今后的科技发展中扮演着重要的角色。
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